晶圆
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蒸发材料应用
蒸发材料是蒸镀镀膜的原材料,是在真空中通过电流加热、电子束轰击加热和激光加热等方法,使被蒸材料蒸发成原子或分子,它们随即以较大的自由程作直线运动,碰撞基片表面而凝结,形成薄膜。广泛应用于微电子、光电子、信息存储、光学镀膜和装饰等行业。
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